Cómo citar
Descargas
Métricas Alternativas
Dimensions
Resumen
La caracterización de dispositivos que modifican su estructura geométrica exige disponer de una técnica de medida precisa, fiable, eficiente y que se ajuste a los requerimientos experimentales. En este sentido, se ilustra el Interferómetro de Michelson como dispositvo para la medición de deflexiones en micromembranas de silicio actuadas termoneumaticamente. Se obtuvieron los anillos de interferencia debido a las modificaciones de la superficie de las membranas los cuales, al ser contabilizados, permiten establecer el comportamiento dinámico de la membrana. La estructura de prueba tiene un área de 4000 μm2, 14 μm de grosor y una cavidad de actuación con una profundidad de 300 μm.
Palabras clave
Citas
Carmona M., 2000. Modelización y test de micromembranas: Aplicación a componentes de microfluídica. Tesis Doctoral, Universidad de Barcelona, Barcelona, España.
Domingo J., Duarte J. E., Moreno M., Puig M. y Samitier J., 2000. Caracterización automática de pequeños actuadores por láser. Memorias del Seminario Anual de Automática, Electrónica Industrial e Instrumentación SAAEI‘00, Septiembre 13 a 15 de 2000, Terrasa, Cataluña, España, 253-256.
Duarte J. E., 2001. Diseño y Test de Micromembranas Actuadas Ópticamente. Tesis Doctoral, Universidad de Barcelona, Barcelona, España.
Duarte J. E., Fernández F. y Moreno M., 2005. Caracterización de microactuadores mediante técnicas ópticas. Revista de la Escuela Colombiana de Ingeniería, Año 15, No. 59. 35-38.
Hecht E. y Zajac A., 1977. Óptica. Fondo Educativo Interamericano, S.A., Madrid.
Jenkins F. A. and White H. E., 1976. Fundamentals of Optics. Mc Graw-Hill, New York.
Ruiz O., Samitier J., Wenk B., Riethmuller W. and Ramos Martos J., 1996. Pendulum type accelerometers based on thick polysilicon surface micromachining. ESSDERC’96 Editions Frontieres, 725-728.
Tabib-Azar M. 1995. Sensing means and sensor shells: a new method of comparative study of piezoelectric, piezoresistive, electrostatic, magnetic, and optical sensors. Sensors and Actuators A 48: 87-100.
Yamashita K., 1998. Miniaturized infrared sensor using silicon diaphragm based on Golay cell. Sensor and Actuators A 66: 29-32.
Esta obra está bajo una licencia internacional Creative Commons Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0.
Derechos de autor 2023 https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0