Análisis estructural de películas delgadas de NbN crecidas a través de pulverización catódica magnetrón RF

Resumen

En este trabajo se han crecido películas delgadas de NbN a través de la técnica de pulverización catódica magnetrón rf a partir de un blanco de NbN (99.99%). En particular, se ha estudiado la influencia que tiene la incorporación de flujo adicional de N2 a la cámara de preparación en la cristalización y la microestructura de las películas depositadas. Las películas se han caracterizado por difracción de rayos X (DRX) en la configuración de 0-20 y en ángulo de incidencia rasante, microscopía electrónica de barrido (SEM) y microscopía electrónica de transmisión (TEM). Los resultados de DRX muestran que las películas crecidas en diferentes flujos de N2 tienen alto coeficiente de textura a lo largo de la dirección [200]. Los resultados de SEM indican que las películas tienen un crecimiento columnar con alta homogeneidad y espesor medio de 0.7 μm. Los resultados de TEM revelan que las películas han crecido a partir de nanopartículas cristalinas de NbN con alta textura a lo largo del plano (200).