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- Ulises Piratoba Morales, Álvaro Mariño Camargo, Jhon Jairo Olaya Flórez, MAGNETRÓN DESBALANCEADO: CONFIGURACIÓN DEL CAMPO MAGNÉTICO Y SU CORRELACIÓN CON EL CAMPO DE 2 ESPIRAS CONCÉNTRICAS , Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales: Vol. 36 Núm. 138 (2012)
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Resumen
Se obtuvieron y caracterizaron recubrimientos duros a escala nanométrica, de bicapas de Cr/CrN, mediante sputtering con magnetrón desbalanceado (UBMS) en atmósferas de Ar y Ar + N2 sobre silicio y sobre acero H13 endurecido y templado, con grados de desbalance KG entre 0.87 y 1.37. Los parámetros de la deposición fueron los siguientes: una potencia de 160 vatios, flujos de Ar y N2 de 9 y 3 sccm y una distancia blanco-sustrato de 5 cm. Se utilizó un magnetrón Gencoa VT 100 con diversos grados de desbalance, obtenidos por el desplazamiento de su imán central. El comportamiento electroquímico de estos recubrimientos se caracterizó mediante la técnica de polarización anódica potenciodinámica. La microestructura y dureza de las multicapas fueron analizadas mediante difracción de rayos X (DRX) y análisis de nanoindentación; se obtuvieron fases de Cr, CrN y Cr2N, con durezas entre 18.90 y 24.97 GPa que aumentaron con el grado de desbalance.
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