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- Flavio Humberto Fernández Morales, Julio Enrique Duarte, Josep Samitier Martí, MODELADO Y SIMULACIÓN DE MICROESTRUCTURAS PARA LA MANIPULACIÓN DE MICROPARTÍCULAS , Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales: Vol. 32 Núm. 124 (2008)
Métricas Alternativas
Dimensions
Resumen
La caracterización de dispositivos que modifican su estructura geométrica exige disponer de una técnica de medida precisa, fiable, eficiente y que se ajuste a los requerimientos experimentales. En este sentido, se ilustra el Interferómetro de Michelson como dispositvo para la medición de deflexiones en micromembranas de silicio actuadas termoneumaticamente. Se obtuvieron los anillos de interferencia debido a las modificaciones de la superficie de las membranas los cuales, al ser contabilizados, permiten establecer el comportamiento dinámico de la membrana. La estructura de prueba tiene un área de 4000 μm2, 14 μm de grosor y una cavidad de actuación con una profundidad de 300 μm.
Palabras clave
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